設備的日常維護：

　　1、檢查油的位置。

　　2、經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油。

　　3、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100小時左右換油一次。

　　4、一般情況下，工作2000小時后應進行檢修，檢查桷膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。

　　5、在工作第一個月內，經100小時更換潤滑油，以后每個500小時，換油一次。

　　6、經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。

　　7、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。

　　8、在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。

　　9、長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。

　　

　　由于真空泵有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的泵不能在大氣壓下工作，需要預真空；有的出口壓強低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。