旋轉(zhuǎn)涂覆技術(shù)一般采用設(shè)備是
勻膠機，它是在高速旋轉(zhuǎn)的基片上，滴注各類膠液，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻地涂覆在基片上的設(shè)備，膜的厚度取決于該機的轉(zhuǎn)速和溶膠的黏度，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。
那么，我們應(yīng)該如何選擇勻膠機？
1、旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉(zhuǎn)速和電機的實際轉(zhuǎn)速如果誤該機圖冊差很大，對于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準確的實驗數(shù)據(jù)的。國產(chǎn)的大部分低端設(shè)備只能提供轉(zhuǎn)速范圍，并不能標定實時的轉(zhuǎn)速。
2、真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造
真空泵一定要無油的，壓力標定準確，國內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實在不敢恭維。因為任何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況，還會讓滴膠液不慎進入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國產(chǎn)的客戶常常會關(guān)心怎么清洗的問題，這一點許多國外的設(shè)備做得不錯，他們有通過聯(lián)動機制，如果真空吸附力不夠的時候，不會開始旋轉(zhuǎn)。
3、材質(zhì)的選擇
它對于半導體化工行業(yè)的應(yīng)用來說，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，國產(chǎn)的大部分設(shè)備采用的是鐵板噴漆或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話，將會導致旋涂時，時高時低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果。目前有些國外品牌采用天然聚丙烯或者聚四氟乙烯（特氟隆）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節(jié)約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點。
